由于產品技術升級，此型號已經停產，請用戶見諒！

替代型號為： TM608高精度膜厚監測儀

用途和特點
該款膜厚監測儀為沈陽賽恩斯有限公司研發和制造。它主要是用于真空設備在蒸發、
磁控濺射、直流濺射等鍍膜過程中， 動態地監測膜層的幾何厚度、沉積速率等參數的專用
儀器。該款監測儀具有同步檢測通道多，測量數據準確、穩定、一致性好、顯示直觀、操
作方便等特點。本款監測儀可以很方便地通過鍵盤或串口對測量門控時間、材料、速率算
法、比例因子等進行設置。測量周期可在0.1－1 秒間進行選擇，以適應高精度或高速率的
不同需求。監測過程中可以通過串口實時地對設備實時進行數據采集、啟動、停止等控
制，為遠程監測和鍍膜控制提供了方便。本款監測儀還配有與速率成正比的0－10V 的同步
輸出，為用戶對鍍膜速率的監視和和控制提供了方便，膜厚監控儀采用插卡式結構，可選
配成2 通道，4 通道，6 通道和8 通道。串口可以根據用戶的要求選配232、485 等不同協
議的接口。

產品特點：
1、超高精度測量。采用自有知識產權的高精度測頻技術，頻率測量分辨率：0.002Hz/s。 
2、插卡式結構： 采用插卡式結構，可插入4塊測量卡（2通道/卡）、輸出輸出卡、電源卡等， 方便維護與升級。 
3、具有模擬量輸出接口，通過調節儀可對鍍膜源進行控制，構建鍍膜速率閉環控制系統，對鍍膜速率進行精確控制。
4、界面友好易操作。采用藍背光大屏幕液晶顯示，大鍵盤操作。 
5、擋板控制。6路開關量輸出，可外接源擋板，可對擋板進行控制。
6、計算機控制： 可直接連接計算機使用，由計算機控制和顯示，并可將測量數據導入Excel表。 隨機提供計算機測試軟件。一臺計算機可接多臺膜厚儀。

注：本產品最新升級改進型號為：TM606A

 技術指標

用戶手冊：

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