產品簡介
SE300 系列石英晶體膜厚探頭（簡稱：探頭），采用先進的設計技術
設計，高精度數控機床加工。連接于本公司生產膜厚儀使用。具有如下獨特功
能：
1) 可用于高真空環境，真空漏率小于1X10－10PaLS.
2) 氣動探頭擋板（選配件），外接氣源控制擋板開關。
3) 全新水冷結構設計，內置水道設計提高水冷能力。
4) 水管可伸縮設計，在大氣狀態可改變伸入真空室長度。

技術指標
適用晶片頻率： 6MHz
適用晶片尺寸： 直徑：14mm
安裝法蘭規格： CF35
冷卻水管長度： 300mm、500mm、1000mm
水管規格：       直徑 3mm
冷卻水壓：       <0.3MPa
氣動擋板路管規格： 直徑 3mm
壓縮空氣壓力： <0.8 MPa、>0.5 MPa
晶片類型：       6MHz
烘烤溫度：       通水狀態： <200 攝氏度
不通水狀態：    法蘭<100 攝氏度
電氣接口：       BCN 插座

用戶手冊

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