產品簡介
SI－PDF300 型系列等離子清洗機，是采高效率電子管作為末級輸出。 ARM
單片機做整機控制的新型離子清洗機。由于采用ARM 單片機做整機控制，實現真空
壓力檢測、定時控制和功率控制集成控制?？梢詮V泛的用于清洗各種基片材料和晶體
上納米級的有機污染物。在“HI”功率狀態下最大去除污染物的速度為20nm/min。
在做外延沉積之前對單晶襯底進行清洗能夠達到更好的沉積效果。并具有如下獨特功
能：
1) 三檔功率輸出，按鍵控制；
2) 內建定時器，可實現定時關機；
3) 內建真空壓力檢測。
4) RF 輸出功率檢測，無輸出報警
5) 體積小重量輕。最大外形尺寸400 x 300 x 300 全機僅10.2kg；
6) LED 數碼管顯示及輕觸按鍵控制，操作簡單、使用方便。

1 、技術指標
1.1 RF 電源
供電電源要求： AC220V / 50Hz（±10%） 最大電流2A
輸出頻率： 3.0MHz（±1%）
輸出功率： 7.2、10.2、29.6W三檔
1.2 清洗腔
內部尺寸： Φ160 x 190mm
材質： 高純度石英管
腔門： 可開關的密封法蘭門（帶充氣裝置）
1.3 真空系統
真空泵： 2L旋片式機械泵（選配）
真空泵接口： ?25
真空計： 1Pa~1x105Pa（內置）
三通閥： 1/8英寸
微調閥： 1/8英寸
充氣接口： 卡套（Φ6mm）
氣體種類： N2、Ar、O2 等非腐蝕性氣體，嚴禁充入易燃易爆氣體
1.4 控制及其它
顯示器： 一組四位LED數碼管
最大外形尺寸： 主機 400 x 300 x 300mm ( 寬 x 高 x 深 )
重量： 主機 10.2kg （不含真空泵）
使用溫度： 0-40℃ (電源/顯示器)
濕度范圍： 5%-85%RH.，不結露

用戶手冊

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