產品特點
本機采用我公司專有的RF 等離子體發生技術、計算機控制技術、高超的軟件編程
技術及精湛的設計、加工與裝調水平開發與制造。本公司的小型等離子清洗器是一種
小型化、非破壞性的超清洗設備。該款小型等離子清洗器采用氣體作為清洗介質，有
效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。
這款小型等離子清洗機外接一臺真空泵，工作時小型等離子清洗器的清洗腔中的
等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面。這款小型等離子清洗機,短時間的清洗就可以使有
機污染物被徹底地清洗掉，同時污染物被小型等離子清洗機的真空泵抽走，這款小型
等離子清洗機的清洗程度達到分子級。
本款小型等離子清洗機除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據需要改變
某些材料表面的性能：小型等離子清洗機的等離子體作用于材料表面，使表面分子的
化學鍵發生重組，形成新的表面特性。該款小型等離子清洗機對某些有特殊用途的材
料，在超清洗過程中小型等離子清洗機的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相
容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。我們的小型等離子清洗機廣泛應用于光學、光電子
學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。
等離子清洗機的應用范圍：
* 清洗電子元件、光學器件、激光器件、鍍膜基片、芯片。
* 清洗光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。
* 移除光學元件、半導體元件等表面的光阻物質。
* 清洗ATR 元件、各種形狀的人工晶體、天然晶體和寶石。
* 清洗半導體元件、印刷線路板。
* 清洗生物芯片、微流控芯片。
* 清洗沉積凝膠的基片。
* 高分子材料表面修飾。
* 牙科材料、人造移植物、醫療器械的消毒和殺菌。
* 改善粘接光學元件、光纖、生物醫學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。

1 產品規格
1.1 清洗腔體
項目 普通精度測量板 說明
腔體尺寸 ?190X98mm
石英管尺寸 ?180X55mm（壁厚7mm）
內腔尺寸 ?165X55mm
清洗電極尺寸 ?120mm（水冷）
樣品臺有效尺寸 ?140mm
?100mm（加熱）
樣品與電極距離 15~50mm 可調
抽氣管尺寸 ?12mm
極限真空度 0.1Pa
工作真空度 60~500 Pa
真空泵規格 2L、AC220V
1.2 氣路系統
氣路數量： 2 路
流量控制器數量： 1、2(選裝)
流量控制器量程： 50SCCM(選裝)
流量顯示儀規格： 2 通道
氣路接口規格： ?6mm
放氣管路接口規格： ?6mm
1.3 RF 電源規格
輸出功率： 100W(30\60\100W 三檔可調)
調諧方式： 自動調諧/跟蹤、手動調諧
1.4 樣品臺加熱器規格
加熱樣品臺尺寸： ?100mm(選裝)
加熱樣品溫度： 室溫~500℃±1℃
1.5 整機參數
供電電壓： AC220V/10A
消耗功率： <500W（包括真空泵）
整機尺寸： 245x235x460mm（不含真空泵）
主機重量： 20kg（不含真空泵）
冷卻水壓力: 0.2~0.4Kpa
存儲溫度： -20~50℃
使用溫度： 5~35℃
環境溫度： <80%(相對溫度)不結露
海拔高度： 0~2000m

用戶手冊

/kindeditor-4.0-beta/attached/file/20150426/20150426191228_3935.zip